Triethylgallium (TEGa) is an organometallic compound with the formula Ga(C2H5)3. It is a colorless, volatile liquid at room temperature and is known for its reactivity, particularly with moisture and air, which can lead to the formation of gallium oxide and other byproducts. TEGa is primarily used in the semiconductor industry, particularly in the production of gallium-containing thin films through metal-organic chemical vapor deposition (MOCVD). Its properties include a relatively low boiling point and high vapor pressure, making it suitable for vapor-phase deposition processes. TEGa is also characterized by its ability to act as a source of gallium in various chemical reactions. However, it is highly pyrophoric, meaning it can ignite spontaneously in air, necessitating careful handling and storage under inert atmospheres. Additionally, it poses health hazards, including potential toxicity upon inhalation or skin contact, thus requiring appropriate safety measures during use.

Triethylgallium

Triethylgallium (TEGa) ist eine organometallische Verbindung mit der Formel Ga(C2H5)3. Es ist eine farblose, flüchtige Flüssigkeit bei Raumtemperatur und bekannt für seine Reaktivität, insbesondere mit Feuchtigkeit und Luft, was zur Bildung von Galliumoxid und anderen Nebenprodukten führen kann. TEGa wird hauptsächlich in der Halbleiterindustrie verwendet, insbesondere bei der Herstellung von galliumhaltigen Dünnfilmen durch metallorganische chemische Gasphasenabscheidung (MOCVD). Zu seinen Eigenschaften gehören ein relativ niedriger Siedepunkt und ein hoher Dampfdruck, was es für Gasphasenabscheidungsprozesse geeignet macht. TEGa zeichnet sich auch durch seine Fähigkeit aus, als Galliumquelle in verschiedenen chemischen Reaktionen zu fungieren. Es ist jedoch hochpyrophor, was bedeutet, dass es sich spontan in der Luft entzünden kann, was eine sorgfältige Handhabung und Lagerung unter inertem Gas erfordert. Darüber hinaus birgt es Gesundheitsrisiken, einschließlich potenzieller Toxizität bei Inhalation oder Hautkontakt, was angemessene Sicherheitsmaßnahmen während der Verwendung erforderlich macht.

1115-99-7: Triethylgallium (TEGa) ist eine organometallische Verbindung mit der Formel Ga(C2H5)3. Es ist eine farblose, flüchtige Flüssigkeit bei Raumtemperatur und bekannt für seine Reaktivität, insbesondere mit Feuchtigkeit und Luft, was zur Bildung von Galliumoxid und anderen Nebenprodukten führen kann. TEGa wird hauptsächlich in der Halbleiterindustrie verwendet, insbesondere bei der Herstellung von galliumhaltigen Dünnfilmen durch metallorganische chemische Gasphasenabscheidung (MOCVD). Zu seinen Eigenschaften gehören ein relativ niedriger Siedepunkt und ein hoher Dampfdruck, was es für Gasphasenabscheidungsprozesse geeignet macht. TEGa zeichnet sich auch durch seine Fähigkeit aus, als Galliumquelle in verschiedenen chemischen Reaktionen zu fungieren. Es ist jedoch hochpyrophor, was bedeutet, dass es sich spontan in der Luft entzünden kann, was eine sorgfältige Handhabung und Lagerung unter inertem Gas erfordert. Darüber hinaus birgt es Gesundheitsrisiken, einschließlich potenzieller Toxizität bei Inhalation oder Hautkontakt, was angemessene Sicherheitsmaßnahmen während der Verwendung erforderlich macht.

CAS 1115-99-7

Triethylgallium

Triethylgallium, elec. gr. (99.9999%-Ga) PURATREM

Ref: 08-98-1862