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CAS 13499-05-3

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Hafniumtetrachlorid

Beschreibung:
Hafniumtetrachlorid (HfCl4) ist eine anorganische Verbindung, die durch ihre weiße kristalline Feststoffform bei Raumtemperatur gekennzeichnet ist. Es handelt sich um eine kovalente Verbindung, die eine tetraedrische Molekülgeometrie aufweist. Hafniumtetrachlorid ist hochlöslich in organischen Lösungsmitteln wie Benzol und Toluol, hat jedoch eine begrenzte Löslichkeit in Wasser. Es ist bekannt für seine hygroskopischen Eigenschaften, da es leicht Feuchtigkeit aus der Luft aufnimmt, was zu Hydrolyse und der Bildung von Hafniumoxychlorid führen kann. HfCl4 wird hauptsächlich in der Produktion von Hafniummetall und als Vorstufe in chemischen Gasphasenabscheidungsprozessen für dünne Hafniumoxidschichten verwendet, die in der Halbleitertechnik wichtig sind. Die Verbindung hat einen relativ hohen Schmelzpunkt und kann unter Vakuum sublimiert werden. Aufgrund seiner Reaktivität, insbesondere mit Wasser und Basen, erfordert der Umgang mit HfCl4 Vorsicht, da es bei Kontakt mit Feuchtigkeit Salzsäure freisetzen kann. Insgesamt spielt Hafniumtetrachlorid eine bedeutende Rolle in der Materialwissenschaft und in fortschrittlichen Fertigungsprozessen.
Formel:Cl4Hf
InChl:InChI=1S/4ClH.Hf/h4*1H;/q;;;;+4/p-4
InChI Key:InChIKey=PDPJQWYGJJBYLF-UHFFFAOYSA-J
SMILES:[Hf](Cl)(Cl)(Cl)Cl
Synonyme:
  • Hafnium chloride
  • Hafnium chloride (HfCl4)
  • Hafnium chloride (HfCl4), (T-4)-
  • Hafnium chloride (HfCl<sub>4</sub>)
  • Hafnium chloride (HfCl<sub>4</sub>), (T-4)-
  • Hafnium(IV) chloride
  • Hafniumtetrachlorid
  • Tetrachlorohafnium
  • Tetrachlorure d'hafnium
  • Tetracloruro De Hafnio
  • Hafnium tetrachloride
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