Hexafluorodisilane, with the CAS number 13830-68-7, is a chemical compound composed of silicon and fluorine, specifically featuring two silicon atoms and six fluorine atoms. It is a colorless gas at room temperature and exhibits a pungent odor. This compound is notable for its high reactivity, particularly with moisture, leading to the formation of corrosive hydrofluoric acid and silicates. Hexafluorodisilane is primarily used in the semiconductor industry as a precursor for silicon and silicon-containing materials, particularly in chemical vapor deposition processes. Its molecular structure allows it to act as a source of silicon in various applications, including the production of thin films and coatings. Due to its fluorinated nature, it is also considered a potent greenhouse gas, necessitating careful handling and storage to mitigate environmental impact. Safety precautions are essential when working with this substance, as it can pose health risks through inhalation or skin contact.

Hexafluorodisilane

Hexafluordisilan, mit der CAS-Nummer 13830-68-7, ist eine chemische Verbindung, die aus Silizium und Fluor besteht und spezifisch zwei Siliziumatome und sechs Fluoratome aufweist. Es ist ein farbloses Gas bei Raumtemperatur und hat einen stechenden Geruch. Diese Verbindung ist bemerkenswert für ihre hohe Reaktivität, insbesondere mit Feuchtigkeit, was zur Bildung von korrosivem Flusssäure und Silikaten führt. Hexafluordisilan wird hauptsächlich in der Halbleiterindustrie als Vorstufe für siliziumhaltige Materialien verwendet, insbesondere in chemischen Gasphasenabscheidungsprozessen. Seine molekulare Struktur ermöglicht es ihm, als Siliziumquelle in verschiedenen Anwendungen zu fungieren, einschließlich der Herstellung von Dünnfilmen und Beschichtungen. Aufgrund seiner fluorierten Natur wird es auch als potentes Treibhausgas angesehen, was eine sorgfältige Handhabung und Lagerung erfordert, um die Umweltauswirkungen zu mindern. Sicherheitsvorkehrungen sind beim Arbeiten mit dieser Substanz unerlässlich, da sie Gesundheitsrisiken durch Inhalation oder Hautkontakt darstellen kann.

13830-68-7: Hexafluordisilan, mit der CAS-Nummer 13830-68-7, ist eine chemische Verbindung, die aus Silizium und Fluor besteht und spezifisch zwei Siliziumatome und sechs Fluoratome aufweist. Es ist ein farbloses Gas bei Raumtemperatur und hat einen stechenden Geruch. Diese Verbindung ist bemerkenswert für ihre hohe Reaktivität, insbesondere mit Feuchtigkeit, was zur Bildung von korrosivem Flusssäure und Silikaten führt. Hexafluordisilan wird hauptsächlich in der Halbleiterindustrie als Vorstufe für siliziumhaltige Materialien verwendet, insbesondere in chemischen Gasphasenabscheidungsprozessen. Seine molekulare Struktur ermöglicht es ihm, als Siliziumquelle in verschiedenen Anwendungen zu fungieren, einschließlich der Herstellung von Dünnfilmen und Beschichtungen. Aufgrund seiner fluorierten Natur wird es auch als potentes Treibhausgas angesehen, was eine sorgfältige Handhabung und Lagerung erfordert, um die Umweltauswirkungen zu mindern. Sicherheitsvorkehrungen sind beim Arbeiten mit dieser Substanz unerlässlich, da sie Gesundheitsrisiken durch Inhalation oder Hautkontakt darstellen kann.

CAS 13830-68-7

Hexafluordisilan

Disilane, 1,1,1,2,2,2-hexafluoro-

Ref: IN-DA0018HA