CAS 14049-36-6
:Silan, chlorotrifluor-
Beschreibung:
Chlorotrifluorosilan, mit der CAS-Nummer 14049-36-6, ist eine chemische Verbindung, die durch ihre Silanstruktur gekennzeichnet ist, bei der drei Fluoratome und ein Chloratom an ein Siliziumatom gebunden sind. Diese Verbindung ist typischerweise ein farbloses Gas oder eine flüchtige Flüssigkeit bei Raumtemperatur und ist bekannt für ihre Reaktivität und Flüchtigkeit. Chlorotrifluorosilan wird hauptsächlich in der Halbleiterindustrie zur Abscheidung von Silizium und siliziumbasierten Materialien verwendet, da es als Vorstufe in chemischen Dampfabscheidungsprozessen dienen kann. Es wird auch in der Produktion von fluorierten Silanen und anderen siliziumbasierten Verbindungen eingesetzt. Die Anwesenheit von Fluoratomen verleiht einzigartige Eigenschaften, wie erhöhte Stabilität und Hydrophobizität, was es in verschiedenen Anwendungen wertvoll macht. Es ist jedoch wichtig, diese Substanz mit Vorsicht zu behandeln, da sie toxisch und korrosiv sein kann und Risiken für die Gesundheit und die Umwelt darstellt. Angemessene Sicherheitsmaßnahmen, einschließlich der Verwendung von persönlicher Schutzausrüstung und ausreichender Belüftung, sind beim Arbeiten mit dieser Verbindung unerlässlich.
Formel:ClF3Si
InChl:InChI=1S/ClF3Si/c1-5(2,3)4
InChI Key:InChIKey=WOLDFAYTXKMDAQ-UHFFFAOYSA-N
SMILES:[Si](Cl)(F)(F)F
Synonyme:- Chlorotrifluorosilane
- Silane, chlorotrifluoro-
- Silicon chloride fluoride (SiClF<sub>3</sub>)
- Silicon chloride trifluoride
- Trifluorochlorosilane
- Silicon chloride fluoride (SiClF3)
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