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CAS 175923-04-3

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TETRAKIS(ETHYLMETHYLAMINO)ZIRKONIUM

Beschreibung:
TETRAKIS(ETHYLMETHYLAMINO)ZIRKONIUM, mit der CAS-Nummer 175923-04-3, ist eine organometallische Verbindung, die ein Zirkoniumzentrum aufweist, das an vier Ethylmethylamin-Liganden koordiniert ist. Diese Verbindung wird typischerweise in chemischen Gasphasenabscheidungsprozessen (CVD) verwendet, insbesondere bei der Herstellung von Dünnfilmen für Halbleiteranwendungen. Ihre Struktur ermöglicht die Bildung stabiler Komplexe, die die Abscheidung von zirkoniumhaltigen Materialien auf verschiedenen Substraten erleichtern können. TETRAKIS(ETHYLMETHYLAMINO)ZIRKONIUM zeichnet sich durch seine relativ geringe Volatilität und hohe Reaktivität aus, was es für Prozesse geeignet macht, die eine präzise Kontrolle über die Zusammensetzung und Dicke des Films erfordern. Darüber hinaus ist es wichtig, diese Verbindung mit Vorsicht zu behandeln, da sie Gesundheits- und Sicherheitsrisiken darstellen kann, einschließlich potenzieller Toxizität und Entflammbarkeit. Es sollten geeignete Lagerungs- und Handhabungsprotokolle befolgt werden, um diese Risiken zu mindern. Insgesamt spielt diese Verbindung eine bedeutende Rolle in der fortgeschrittenen Materialwissenschaft, insbesondere bei der Entwicklung von Hochleistungs-Elektronikgeräten.
Formel:C12H32N4Zr
InChl:InChI=1/4C3H8N.Zr/c4*1-3-4-2;/h4*3H2,1-2H3;/q4*-1;+4/rC12H32N4Zr/c1-9-13(5)17(14(6)10-2,15(7)11-3)16(8)12-4/h9-12H2,1-8H3
SMILES:CC[N-]C.CC[N-]C.CC[N-]C.CC[N-]C.[Zr]
Synonyme:
  • Zirconium Tetrakis(Ethylmethylamide)
  • Tetrakis(ethyl Methyl amido) zirconium
  • Tetrakis(Ethylmethylamido)Zirconium(Iv)
  • Tetrakis(Ethylmethylamino)Zirconium(Iv)
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