CAS 19782-68-4: TETRAKIS(DIMETHYLAMIDO)HAFNIUM(IV)

Beschreibung: Tetrakis(dimethylamido)hafnium(IV) ist eine organometallische Verbindung mit der Formel Hf(N(CH₃)₂)₄. Sie zeichnet sich durch die Koordination von vier Dimethylamido-Liganden an ein zentrales Hafnium-Atom aus, das sich im Oxidationszustand +4 befindet. Diese Verbindung ist typischerweise eine farblose bis hellgelbe Flüssigkeit oder ein Feststoff, abhängig von ihrer Form und Reinheit. Sie ist bekannt für ihre Flüchtigkeit und wird häufig als Vorstufe in chemischen Gasphasenabscheidungsprozessen (CVD) für Hafniumoxid-Dünnfilme verwendet, die in der Halbleiterfertigung und anderen Anwendungen fortschrittlicher Materialien wichtig sind. Tetrakis(dimethylamido)hafnium(IV) ist empfindlich gegenüber Feuchtigkeit und Luft und erfordert eine sorgfältige Handhabung unter inertialen Bedingungen, um Hydrolyse und Oxidation zu verhindern. Ihre thermische Stabilität ermöglicht es ihr, sich bei erhöhten Temperaturen zu zersetzen und Hafnium sowie stickstoffhaltige Nebenprodukte freizusetzen. Aufgrund ihrer organometallischen Natur zeigt sie im Vergleich zu traditionellen Hafniumverbindungen eine einzigartige Reaktivität und Eigenschaften, was sie in der Materialwissenschaft und Nanotechnologie wertvoll macht.

Formel: C₈H₂₄HfN₄

InChl: InChI=1/4C2H6N.Hf/c4*1-3-2;/h4*1-2H3;/q4*-1;+4/rC8H24HfN4/c1-10(2)9(11(3)4,12(5)6)13(7)8/h1-8H3

Synonyme:

• Tetrakis(Dimethylamido)Hafnium(Iv), 99.99+%
• Hafnium Tetrakis(Dimethylazanide)
• Tetrakis(Dimethylamino)Hafnium
• Tetrakis(dimethylamido)hafnium(IV)

Tetrakis(dimethylamino)hafnium, 98+% (99.99+%-Hf, <0.2%-Zr) TDMAH, PURATREM, 72-8000, contained in 50 ml Swagelok® cylinder (96-1070) for CVD/ALD

CAS: 19782-68-4

• Formel: Hf(N(CH₃)₂
• Reinheit: (99.99+%-Hr, <0.2%-Zr)
• Farbe und Form: colorless to pale yellow xtl.
• Molekulargewicht: 354.79

Tetrakis(dimethylamino)hafnium, 98+% (99.99+%-Hf, <0.2% Zr) TDMAH, PURATREM

CAS: 19782-68-4

• Formel: Hf(N(CH₃)₂
• Reinheit: (99.99+%-Hf, <0.2% Zr)
• Farbe und Form: colorless to pale yellow xtl.
• Molekulargewicht: 354.79

Methanamine, N-methyl-, hafnium(4+) salt (4:1)

CAS: 19782-68-4

• Formel: C₂H₇HfN
• Reinheit: 99%
• Farbe und Form: Solid
• Molekulargewicht: 223.5737

Tetrakis(dimethylamino)hafnium, 98+% (99.99+%-Hf, <0.2%-Zr) TDMAH, PURATREM, 72-8000, contained in 50ml Swagelok® cylinder (96-1071) for CVD/ALD

CAS: 19782-68-4

• Formel: Hf(N(CH₃)₂
• Reinheit: (99.99+%-Hr, <0.2%-Zr)
• Farbe und Form: colorless to pale yellow xtl.
• Molekulargewicht: 354.79

Tetrakis(dimethylamino)hafnium

CAS: 19782-68-4

Tetrakis(dimethylamino)hafnium is a reactive metal oxide that can be used in the production of high-performance …

• Formel: C₈H₂₄HfN₄
• Reinheit: Min. 95%
• Molekulargewicht: 354.79 g/mol

HAFNIUM DIMETHYLAMIDE

CAS: 19782-68-4

ALD Material Atomic layer deposition (ALD) is a chemically self-limiting deposition technique that is based …

• Formel: C₈H₂₄HfN₄
• Farbe und Form: Pale Yellow Solid
• Molekulargewicht: 354.8