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CAS 3385-78-2

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Trimethylindium

Beschreibung:
Trimethylindium (TMI) ist eine organometallische Verbindung mit der Formel In(CH₃)₃. Sie zeichnet sich durch ihre Flüchtigkeit und Reaktivität aus, was sie zu einem wertvollen Vorläufer im Bereich der Halbleiterherstellung macht, insbesondere für die Abscheidung von indiumhaltigen Dünnschichten. TMI ist bei Raumtemperatur eine farblose bis blassgelbe Flüssigkeit und hat einen relativ niedrigen Siedepunkt, was ihre Verwendung in chemischen Gasphasenabscheidungsprozessen (CVD) erleichtert. Die Verbindung ist sehr empfindlich gegenüber Feuchtigkeit und Luft, was zu Hydrolyse und Oxidation führen kann, die Indiumoxide oder -hydroxide erzeugen können. Aufgrund ihrer organometallischen Natur weist TMI eine tetraedrische Geometrie um das Indiumatom auf, wobei die drei Methylgruppen sterischen Platz bieten. Sicherheitsvorkehrungen sind beim Umgang mit TMI unerlässlich, da es giftig ist und Gesundheitsrisiken bei Exposition darstellen kann. Eine ordnungsgemäße Lagerung in inertem Umfeld und die Verwendung geeigneter persönlicher Schutzausrüstung sind entscheidend, um diese Risiken zu mindern. Insgesamt ist Trimethylindium eine wichtige Verbindung in der Materialwissenschaft und Elektronik, insbesondere bei der Entwicklung fortschrittlicher Halbleitergeräte.
Formel:C3H9In
InChl:InChI=1S/3CH3.In/h3*1H3;
InChI Key:InChIKey=IBEFSUTVZWZJEL-UHFFFAOYSA-N
SMILES:[In](C)(C)C
Synonyme:
  • TMI
  • Trimethylindium
  • Trimetilindio
  • Indium, trimethyl-
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