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CAS 420-56-4

:

Trimethylfluorosilan

Beschreibung:
Trimethylfluorosilan, mit der CAS-Nummer 420-56-4, ist eine organosiliciumverbindung, die durch das Vorhandensein von drei Methylgruppen und einem Fluoratome, das an ein Siliziumatom gebunden ist, gekennzeichnet ist. Es ist ein farbloses Gas oder eine farblose Flüssigkeit bei Raumtemperatur und hat einen stechenden Geruch. Diese Verbindung ist bemerkenswert für ihre Reaktivität, insbesondere bei der Hydrolyse, wo sie bei Kontakt mit Feuchtigkeit Flusssäure freisetzen kann, was sie potenziell gefährlich macht. Trimethylfluorosilan wird in verschiedenen Anwendungen eingesetzt, unter anderem als Reagenz in der organischen Synthese und als Vorstufe für die Abscheidung von siliziumhaltigen Filmen in der Halbleiterfertigung. Ihre Flüchtigkeit und der niedrige Siedepunkt erleichtern die Verwendung in chemischen Dampfabscheidungsprozessen. Darüber hinaus ist es wichtig, diese Substanz mit Vorsicht zu behandeln, aufgrund ihrer giftigen und ätzenden Natur, insbesondere in Bezug auf ihre Wechselwirkung mit Wasser und biologischen Geweben. Angemessene Sicherheitsmaßnahmen, einschließlich der Verwendung von persönlicher Schutzausrüstung und ausreichender Belüftung, sind unerlässlich, wenn man mit Trimethylfluorosilan arbeitet.
Formel:C3H9FSi
InChl:InChI=1/C3H9FSi/c1-5(2,3)4/h1-3H3
InChI Key:InChIKey=CTIKAHQFRQTTAY-UHFFFAOYSA-N
SMILES:[Si](C)(C)(C)F
Synonyme:
  • Fluorotrimethylsilane
  • Silane, fluorotrimethyl-
  • Trimethylsilicon fluoride
  • Trimethylsilyl fluoride
  • Trimethylfluorosilane
  • Trimethylfluorosilane 99%
  • TRIMETHYLFLUOROSILANE CYL. WITH 100 G
  • Fluorotrimethylsilane. Trimethylsilyl fluoride
  • fluorotrimethyl-silan
  • Trimethylfluorosilane, Trimethylsilyl fluoride
  • Weitere Synonyme anzeigen
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