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CAS 13830-68-7

:

Hexafluorodisilane

Description :
Hexafluorodisilane, avec le numéro CAS 13830-68-7, est un composé chimique composé de silicium et de fluor, comportant spécifiquement deux atomes de silicium et six atomes de fluor. C'est un gaz incolore à température ambiante et présente une odeur âcre. Ce composé est remarquable pour sa haute réactivité, en particulier avec l'humidité, entraînant la formation d'acide fluorhydrique corrosif et de silicates. Hexafluorodisilane est principalement utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs comme précurseur pour des matériaux contenant du silicium, en particulier dans les processus de dépôt chimique en phase vapeur. Sa structure moléculaire lui permet d'agir comme source de silicium dans diverses applications, y compris la production de films minces et de revêtements. En raison de sa nature fluorée, il est également considéré comme un puissant gaz à effet de serre, nécessitant une manipulation et un stockage prudents pour atténuer l'impact environnemental. Les précautions de sécurité sont essentielles lors de la manipulation de cette substance, car elle peut présenter des risques pour la santé par inhalation ou contact cutané.
Formule :F6Si2
InChI :InChI=1/F6Si2/c1-7(2,3)8(4,5)6
SMILES :F[Si](F)(F)[Si](F)(F)F
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