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CAS 175923-04-3

:

TÉTRAKIS(ÉTHYLMÉTHYLAMINO)ZIRCONIUM

Description :
TÉTRAKIS(ÉTHYLMÉTHYLAMINO)ZIRCONIUM, avec le numéro CAS 175923-04-3, est un composé organométallique qui présente un centre de zirconium coordonné à quatre ligands éthylméthylamine. Ce composé est généralement utilisé dans les processus de dépôt de vapeur chimique (CVD), en particulier dans la fabrication de films minces pour des applications dans les semi-conducteurs. Sa structure permet la formation de complexes stables, ce qui peut faciliter le dépôt de matériaux contenant du zirconium sur divers substrats. TÉTRAKIS(ÉTHYLMÉTHYLAMINO)ZIRCONIUM se caractérise par sa volatilité relativement faible et sa haute réactivité, ce qui le rend adapté aux processus nécessitant un contrôle précis de la composition et de l'épaisseur du film. De plus, il est important de manipuler ce composé avec précaution, car il peut présenter des risques pour la santé et la sécurité, y compris une toxicité et une inflammabilité potentielles. Des protocoles de stockage et de manipulation appropriés doivent être suivis pour atténuer ces risques. Dans l'ensemble, ce composé joue un rôle significatif dans la science des matériaux avancés, en particulier dans le développement de dispositifs électroniques haute performance.
Formule :C12H32N4Zr
InChI :InChI=1/4C3H8N.Zr/c4*1-3-4-2;/h4*3H2,1-2H3;/q4*-1;+4/rC12H32N4Zr/c1-9-13(5)17(14(6)10-2,15(7)11-3)16(8)12-4/h9-12H2,1-8H3
SMILES :CC[N-]C.CC[N-]C.CC[N-]C.CC[N-]C.[Zr]
Synonymes :
  • Zirconium Tetrakis(Ethylmethylamide)
  • Tetrakis(ethyl Methyl amido) zirconium
  • Tetrakis(Ethylmethylamido)Zirconium(Iv)
  • Tetrakis(Ethylmethylamino)Zirconium(Iv)
Trier par
Degré de pureté (%)
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5 produits concernés.