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CAS 175923-04-3

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TETRAKIS(ETILMETILAMINO)ZIRCONIO

Descrizione:
TETRAKIS(ETILMETILAMINO)ZIRCONIO, con il numero CAS 175923-04-3, è un composto organometallico che presenta un centro di zirconio coordinato a quattro leganti etilmetilammina. Questo composto è tipicamente utilizzato nei processi di deposizione da vapore chimico (CVD), in particolare nella fabbricazione di film sottili per applicazioni nei semiconduttori. La sua struttura consente la formazione di complessi stabili, che possono facilitare la deposizione di materiali contenenti zirconio su vari substrati. TETRAKIS(ETILMETILAMINO)ZIRCONIO è caratterizzato dalla sua volatilità relativamente bassa e alta reattività, rendendolo adatto per processi che richiedono un controllo preciso sulla composizione e sullo spessore del film. Inoltre, è importante maneggiare questo composto con cura, poiché può presentare rischi per la salute e la sicurezza, inclusa la potenziale tossicità e infiammabilità. Devono essere seguiti protocolli adeguati di stoccaggio e manipolazione per mitigare questi rischi. In generale, questo composto gioca un ruolo significativo nella scienza dei materiali avanzati, in particolare nello sviluppo di dispositivi elettronici ad alte prestazioni.
Formula:C12H32N4Zr
InChI:InChI=1/4C3H8N.Zr/c4*1-3-4-2;/h4*3H2,1-2H3;/q4*-1;+4/rC12H32N4Zr/c1-9-13(5)17(14(6)10-2,15(7)11-3)16(8)12-4/h9-12H2,1-8H3
SMILES:CC[N-]C.CC[N-]C.CC[N-]C.CC[N-]C.[Zr]
Sinonimi:
  • Zirconium Tetrakis(Ethylmethylamide)
  • Tetrakis(ethyl Methyl amido) zirconium
  • Tetrakis(Ethylmethylamido)Zirconium(Iv)
  • Tetrakis(Ethylmethylamino)Zirconium(Iv)
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